X射線熒光光譜儀的功能：

　　XRF是基于X射線的一種分析技術(shù)，當(dāng)一束高能粒子與原子相互作用時(shí)，如果其能量大于或等于原子某一軌道電子的結(jié)合能，將該軌道電子逐出，形成一個(gè)空穴使原子處于激發(fā)態(tài)，由于激發(fā)態(tài)不穩(wěn)定，外層電子向空穴躍遷使原子恢復(fù)到平衡態(tài)，躍遷時(shí)釋放出的能量以輻射的形式放出便產(chǎn)生X熒光。

　　X熒光具有特征的波長，對(duì)應(yīng)的即是特征的能量，通過對(duì)光子的特征波長進(jìn)行辨識(shí)，XRF能實(shí)現(xiàn)對(duì)元素的定性分析，通過探測(cè)特征波長的X射線光子的強(qiáng)度，實(shí)現(xiàn)元素的定量和半定量分析。

　　X射線熒光光譜儀分類：

　　X射線熒光光譜儀可分為具有高分辨率的光譜儀，分辨率較低的便攜式光譜儀，和介于兩者之間的臺(tái)式光譜儀。高分辨率光譜儀通常采用液氮冷卻的半導(dǎo)體探測(cè)器，如Si（Li）和高純鍺探測(cè)器等。低分辨便攜式光譜儀常常采用正比計(jì)數(shù)器或閃爍計(jì)數(shù)器為探測(cè)器，它們不需要液氮冷卻。近年來，采用電致冷的半導(dǎo)體探測(cè)器，高分辨率譜儀已不用液氮冷卻。同步輻射光激發(fā)X射線熒光光譜、質(zhì)子激發(fā)X射線熒光光譜、放射性同位素激發(fā)X射線熒光光譜、全反射X射線熒光光譜、微區(qū)X射線熒光光譜等較多采用的是能量色散方式。

　　X射線熒光光譜儀的結(jié)構(gòu)：

　　1、分光系統(tǒng)：對(duì)來自樣品待測(cè)元素發(fā)出的特征熒光X射線進(jìn)行分辨（主要為分光晶體）；

　　2、激發(fā)系統(tǒng)：主要部件為X射線管，可以發(fā)出原級(jí)X射線（一次X射線），用于照射樣品激發(fā)熒光X射線；

　　3、儀器控制和數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)：處理探測(cè)器信號(hào)，給出分析結(jié)果；

　　4、探測(cè)系統(tǒng)：對(duì)樣品待測(cè)元素的特征熒光X射線進(jìn)行強(qiáng)度探測(cè)。